產品列表PRODUCTS LIST

相關新聞+MORE
首頁>產品中心>管式爐>單溫區管式爐>等離子增強化學氣相沉積爐(PECVD系統)

等離子增強化學氣相沉積爐(PECVD系統)

簡要描述•▩│:

等離子增強化學氣相沉積爐(PECVD系統)是藉助於放電等離子體使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應│•••,從而實現薄膜材料生長的一種新的製備技術││✘◕☁。由於PECVD技術是透過應氣體放電來製備薄膜的│•••,有效地利用了非平衡等離子體的反應特徵│•••,從根本上改變了反應體系的能量供給方式││✘◕☁。

型號•▩│:

城市•▩│:上海市

訪問量•▩│:4915

更新時間•▩│:2021-11-18

線上留言
等離子增強化學氣相沉積爐(PECVD系統)
品牌HAOYUE/皓越升溫速度(達到最高溫)10℃min
控溫精度±1℃最高溫度1200℃
價格區間5萬-10萬儀器種類管式爐
產地類別國產應用領域化工,能源,電子,冶金,製藥
  一•◕✘╃、等離子增強化學氣相沉積爐(PECVD系統)的應用•▩│:
  PECVD工藝中由於等離子體中高速執行的電子撞擊到中性的反應氣體分子│•••,就會使中性反應氣體分子變成碎片或處於啟用的狀態容易發生反應;藉助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體│•••,在區域性形成離子體│•••,而等離子體化學活性很強│•••,很容易反應│•••,在基片上沉積出所期望的薄膜;具有基本溫度低•◕✘╃、沉積速率快•◕✘╃、成膜質量好•◕✘╃、針孔較少•◕✘╃、不易龜裂等優點;
 
  二•◕✘╃、產品特點•▩│:
  1•◕✘╃、整機採用SUS304不鏽鋼材質│•••,流線型外觀│•••,真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛│•••,保溫效能好││✘◕☁。
  2•◕✘╃、爐子底部裝有一對滑軌│•••,移動平穩│•••,可以手動從一端滑向另一端│•••,實現快速的加熱和冷卻││✘◕☁。爐蓋可開啟│•••,可以實時觀察加熱的物料││✘◕☁。
   3•◕✘╃、採用高純石英管│•••,高溫下化學穩定性強│•••,耐腐蝕│•••,熱膨脹係數極小││✘◕☁。
  4•◕✘╃、採用SUS304不鏽鋼快速法蘭│•••,透過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空│•••,一個卡箍就能完成法蘭的連線│•••,放•◕✘╃、取物料方便快捷││✘◕☁。
  5•◕✘╃、加熱元件採用康奈爾發熱絲│•••,表面負荷高•◕✘╃、經久耐用││✘◕☁。設計溫度1200℃│•••,升溫速率10℃/min││✘◕☁。
  6•◕✘╃、可選配多路質量流量計│•••,數字顯示•◕✘╃、氣體流量自動控制;內建不鏽鋼混氣箱│•••,每路氣體管路均配有逆止閥│•••,可透過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量││✘◕☁。
  7•◕✘╃、等離子射頻電源•▩│:大射頻功率達500W│•••,輸出頻率13.56MHz±0.005%│•••,輸入電源 208-240VAC│•••,單相50/60Hz││✘◕☁。
 
  三•◕✘╃、技術引數•▩│:

 

型號

HTF1200-2.5/20-2M-LV-PE 

HTF1200-5/20-4M-LV-PE 

HTF1200-6/40-2M-HV-PE 

HTF1200-8/40-4M-HV-PE 

設計溫度(℃)

1200 

1200 

1200 

1200 

控溫精度(℃)

±1 

±1

±1 

±1 

加熱區直徑(mm)

25 

 50

60 

80 

加熱區長度(mm)

200 

 200 

400 

400 

加熱管長度(mm)

450 

450 

1000 

1000 

恆溫區長度(mm)

80 

80 

150 

150 

額定電壓(V)

220 

220 

220 

220

額定功率(KVA)

1.2 

1.2 

射頻電源功率(W)

5~300 

5~300 

5~500 

5~500 

真空機組

HTF-101 

HTF-101 

HTF-104 

HTF-104 

供氣系統

HTF-2F 

HTF-4F

HTF-2M 

HTF-4M 

 

留言框

  • 產品•▩│:

  • 您的單位•▩│:

  • 您的姓名•▩│:

  • 聯絡電話•▩│:

  • 常用郵箱•▩│:

  • 省份•▩│:

  • 詳細地址•▩│:

  • 補充說明•▩│:

  • 驗證碼•▩│:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字)│•••,如•▩│:三加四=7

上一篇•▩│:HMF1200℃箱式電阻爐

下一篇•▩│:真空熱壓燒結爐

返回列表>>
聯絡人
線上客服
用心服務 成就你我
日本人与黑人牲交高潮,videos站街妓女chinese,毛茸茸性XXXX毛茸茸毛茸茸,免费看陈冠希实干张柏芝视频